性质：无色易挥发易燃液体。熔点-57.7℃（-40℃），沸点57.7，相对密度（20/4℃）0.86，折光率1.3885。溶于苯、乙醚和全氯乙烯。遇水即水解，释出游离盐酸。 制备方法：氯甲烷与硅粉在氯化亚铜催化下一步直接合成，生成甲基氯硅烷混合物，经精馏提纯可得三甲基氯硅烷及其他单体。实验室制备可将四甲基硅烷与乙酰氯在三氯化铝存在下反应。
