郡、县行政区划制始于秦,而郡、县的产生和名称早在秦代以前就已经存在了而州得话应该出现在西汉
东汉末年汉武帝后期,分全国为13州,州作为监察区,长官刺史,地方尚官,东汉刺史逐步增添了地方行政权和军权,到东汉末年,州地方行政区划由郡县两级变为州、郡、县三级。