气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量的单位为：sccm—标准毫升/分钟slm—标准升/分钟气体的标准状态为：0℃，101.325kpa因为在标准状态下，气体的密度是一个常数，密度乘以体积流量就是质量流量，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
