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PECVD淀积氧化硅时硅烷与笑气的比例是多少（硅烷纯度5%），温度，淀积功率是多少时，成膜质量最好，急急急
PECVD淀积氧化硅时硅烷与笑气的比例是多少（硅烷纯度5%），温度，淀积功率是多少时，成膜质量最好，急急急
2024-11-14 14:33:17
推荐回答（1个）
回答1：
这个。。。。。。行业机密，每家的比例不一样，你可以自己实验下。
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