从原理上讲,多晶硅片各点间电阻率有差异是正常的。既然是多晶硅,说明其中有许多晶粒和晶界。由于晶粒的大小不统一,所以在不同的测量点范围内,包含的晶粒和晶界数量是不同的。又由于晶界的电阻率大于晶粒的电阻率,所以导致了“多晶硅片各点间电阻率差异大”。
和参杂的浓度也有关系