真空镀膜磁控溅射用钛靶调彩色膜层,为什么第一层最后一层总是偏黄,如何解决分层的问题。还有异色的问题

2025-01-05 15:07:02
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回答1:

主要是控制氧气的输入量。可以改善输气设备,使输送精度更高,也可以调整标气含氧量,最终都是为氧气平均,平衡的输入。