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物理法与改良西门子法提练的原生多晶硅有什么不同
物理法与改良西门子法提练的原生多晶硅有什么不同
2025-04-14 23:31:37
推荐回答（1个）
回答1：
改良西门子法增加了四氯化硅氢化工艺，实现了闭路循环，比较环保
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