硅微振动陀螺仪是一种较高精度的陀螺仪，该陀螺仪由制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构的上层部分和制作在玻璃衬底上的信号引线的下层部分所组成，陀螺仪上层机械结构的内框架通过内扭杆与外框架相连，外框架通过外扭杆和横梁连于固定基座，陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线、驱动输入引线，敏感输出信号引线、反馈信号引线，上层机械结构的固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。
