硅片电阻率对什么有影响

2025-03-18 00:19:55
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回答1:

硅片退火处理,是工艺的一个环节。是按一定的程序对硅片进行升温、降温的过程;为什么要进行退火?原因之一是,硅片中含有氧,氧有吸取杂质的作用。退火时可以将硅片表面附近的氧,从其表面挥发脱除,使表面附近的杂质数量减少。有利于器件的制造;退火对电阻率和少子寿命有一定的影响:使其升高。供参考。另:如果事实同“问题补充”的一样,可以理解为:氧从表面脱除后,表面附近的杂质数量减少,缺陷也减少,使载流子的平均自由程增加,迁移率也增加,这样导致了电阻率的下降。