MOS和真空管一样用电压来控制电流的大小,并且有很高的输入阻抗(input impedence),其输出与输入之比也相当的线性(linear).
MOS的其他优点:①制造结构简单,隔离方便。②电路尺寸小、功耗低适于高密度集成。③MOS管为双向器件,设计灵活性高。④具有动态工作独特的能力。⑤温度特性好。其缺点是速度较低、驱动能力较弱。一般认为MOS集成电路功耗低、集成度高,宜用作数字集成电路;双极型集成电路则适用作高速数字和模拟电路。
按晶体管的沟道导电类型,可分为P沟MOSIC、N沟MOSIC以及将P沟和N沟MOS晶体管结合成一个电路单元的互补MOSIC,分别称为PMOS 、NMOS和CMOS集成电路。随着工艺技术的发展,CMOS集成电路已成为集成电路的主流,工艺也日趋完善和复杂 ,由P阱或N阱CMOS发展到双阱CMOS工艺。80年代又出现了集双极型电路和互补金 属-氧化物-半导体(CMOS)电路优点的BiCMOS集成电路结构。按栅极材料可分为铅栅、硅栅、硅化物栅和难熔金属(如钼、钨)栅等MOSIC,栅极尺寸已由微米进入亚微米(0.5~1微米)和强亚微米(0.5微米以下)量级 。此外,还发展了不同的MOS集成电路结构的MOSIC:如浮栅雪崩注入MOS(FAMOS)结构,用于可擦写只读存贮器;扩散自对准MOS(DMOS)结构和V型槽MOS结构等,可满足高速、高电压要求。近年来发展了以蓝宝石为绝缘衬底的CMOS结构,具有抗辐照、功耗低和速度快等优点。MOSIC广泛用于计算机、通信、机电仪器、家电自动化、航空航天等领域,可使整机体积缩小、工作速度快、功能复杂、可靠性高、功耗低和成本便宜等
MOS管工作原理
双极型晶体管把输入端电流的微小变化放大后,在输出端输出一个大的电流变化。双极型晶体管的增益就定义为输出输入电流之比(beta)。另一种晶体管,叫做场效应管(FET),把输入电压的变化转化为输出电流的变化。分别为电流控制器件和电压控制器件。FET的增益等于它的跨导(trans conductance)gm, 定义为输出电流的变化和输入电压变化之比。
场效应管的名字也来源于它的输入端栅(称为gate),通过投影一个电场在一个绝缘层(氧化物SIO2)上来影响流过晶体管的电流。事实上没有电流流过这个绝缘体(只是一个电容的作用),所以FET管的GATE电流非常小(电容的电流损耗)。最普通的FET用一薄层二氧化硅来作为GATE极下的绝缘体。这种晶体管称为金属氧化物半导体(MOS)晶体管,或金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)(metal oxide semicondutor field effect transistor)。因为MOS管更小更省电,所以他们已经在很多应用场合取代了双极型晶体管。
首先考察一个更简单的器件-MOS电容-能更好的理解MOS管。这个器件有两个电极,一个是金属,另一个是extrinsic silicon(衬底),他们之间由一薄层二氧化硅分隔开(图1.22A)。金属极就是GATE,而半导体端就是backgate或者body or bulk or background。他们之间的绝缘氧化层称为gate dielectric。图示中的器件有一个轻掺杂P型硅做成的backgate。这个MOS 电容的电特性能通过把backgate接地,gate接不同的电压来说明。图1.22A中的MOS电容的GATE电位是0V。金属GATE和半导体BACKGATE在WORK FUNCTION(也可以说是物质组成上)上的差异在电介质(氧化层的上下)上产生了一个小电场。图示的器件中,这个电场使金属极带轻微的正电位(是因为下面衬底是P型的空穴多,电子少,故需要从别处"抢来"电子,所以氧化物处电子少了,故GATE极带正电),P型硅负电位(相对电子多了)。这个电场把硅中底层的电子吸引到表面来,它同时把空穴排斥出表面。这个电场太弱了,所以载流子浓度的变化非常小,对器件整体的特性影响也非常小。
图1.22B中是当MOS电容的GATE相对于BACKGATE正偏置(PN结)时发生的情况。穿过GATE DIELECTRIC的电场加强了,有更多的电子从衬底被拉了上来。同时,空穴被排斥出表面。随着GATE电压的升高,会出现表面的电子比空穴多的情况。由于过剩的电子,硅表层看上去就像N型硅。掺杂极性的反转被称为"反型"(inversion),反转的硅层叫做channel(N Pmos的命名就是根据这里来的)。随着GATE电压的持续不断升高,越来越多的电子在表面积累,channel变成了强反转。Channel形成时的电压被称为阈值电压Vt。当GATE和BACKGATE之间的电压差小于阈值电压时,不会形成channel。当电压差超过阈值电压时,channel就出现了。(其实还有个亚阈值状态Vgs
图1.22 MOS电容:(A)未偏置(VBG=0V),(B)反转(VBG=3V),(C)积累(VBG=-3V)。
图1.22C中是当MOS电容的GATE相对于backgate是负电压时的情况(就好像给二极管的PN结加上正电压)。电场反转,往表面吸引空穴排斥电子。硅表层看上去更重的掺杂了,这个器件被认为是处于accumulation(电荷积累)状态了。
MOS电容的特性能被用来形成MOS管。图1.23A是最终器件的截面图。Gate,电介质和backgate保持原样。在GATE的两边是两个额外的选择性掺杂的区域。其中一个称为source,另一个称为drain。假设source 和backgate都接地,drain接正电压。只要GATE对BACKGATE的电压仍旧小于阈值电压,就不会形成channel。Drain和backgate之间的PN结反向偏置,所以只有很小的电流从drain流向backgate。如果GATE电压超过了阈值电压,在GATE电介质下就出现了channel。这个channel就像一薄层短接drain和source的N型硅。由电子组成的电流从source通过channel流到drain。总的来说,只有在gate 对source电压V 超过阈值电压Vt时,才会有drain电流。
图1.23 MOSFET晶体管的截面图:NMOS(A)和PMOS(B)。在图中,S=Source,G=Gate ,D=Drain。虽然backgate图上也有,但没有说明。
MOS管的source和drain是可以对调的,他们都是在P型backgate中形成的N型区。在多数情况下,这个两个区是一样的,即使两端对调也不会影响器件的性能。这样的器件被认为是对称的。在对称的MOS管中,对soure和drain的标注有一点任意性。定义上,载流子流出source,流入drain。因此Source和drain的身份就靠器件的偏置来决定了。有时晶体管上的偏置电压是不定的,两个引线端就会互相对换角色。这种情况下,电路设计师必须指定一个是drain另一个则是source。
Source和drain不同掺杂不同几何形状的就是非对称MOS管。制造非对称晶体管有很多理由,但所有的最终结果都是一样的。一个引线端被优化作为drain,另一个被优化作为source。如果drain和source对调,这个器件就不能正常工作了。
图1.23A中的晶体管有N型channel所有它称为N-channel MOS管,或NMOS。P-channel MOS(PMOS)管也存在。图1.23B中就是一个由轻掺杂的N型BACKGATE和P型source和drain组成的PMOS管。如果这个晶体管的GATE相对于BACKGATE正向偏置,电子就被吸引到表面,空穴就被排斥出表面。硅的表面就积累,没有channel形成。如果GATE相对于BACKGATE反向偏置,空穴被吸引到表面,channel形成了。因此PMOS管的阈值电压是负值。由于NMOS管的阈值电压是正的,PMOS的阈值电压是负的,所以工程师们通常会去掉阈值电压前面的符号。一个工程师可能说,“PMOS Vt从0.6V上升到0.7V”, 实际上PMOS的Vt是从-0.6V下降到-0.7V。
MOS管是电压控制电流源。其输入阻抗非常高,近似认为0,因此可以认为其静态功耗极低。另外的特点要结合具体的电路结构。
输入电阻高